补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法

摘要

本发明公开了一种补偿器及一种补偿器与干涉仪共轴的调节方法，属于光学技术领域。解决了现有技术中补偿器与干涉仪共轴的调节方法精度低、效率低的技术问题。本发明的补偿器，包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜，还包括光学基准平面镜，光学基准平面镜不遮挡补偿镜的通光口径，且光学基准平面镜的法向与补偿镜的光轴的夹角小于等于3秒，光学基准平面镜的反射面在前。本发明的补偿器能够用于非球面检测，提高补偿器与干涉仪的共轴精度，从而提高非球面的检测及加工精度。

主权项

补偿器，包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜(3)与场镜(4)，其特征在于，还包括，光学基准平面镜(2)，所述光学基准平面镜(2)不遮挡补偿镜(3)的通光口径，且光学基准平面镜(2)的法向与补偿镜(3)的光轴的夹角小于等于3秒，光学基准平面镜(2)的反射面在前。