| 发明名称 | 一种硅片清洗机 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片清洗机，包括下料台(1)，设置于下料台(1)的工作台面下的传送链条(3)，传送链条(3)用于传送硅片篮(4)，下料台(1)对应硅片篮(4)工作位置处设置有至少两个检测开关(2)，两检测开关(2)沿传送链条(3)的传动方向并行设置；硅片清洗机还包括根据各检测开关(2)中任一者检测到硅片篮(4)的信号，发出停止机械手放下一硅片篮(4)动作的控制器；当各检测开关均将各检测信号发送给控制器，控制器对各信号进行分析、判断，当判断各检测信号中的任一者检测到硅片篮时，便发送停止机械手放下一硅片篮的控制指令于机械手，机械手便会停止向下料台处放硅片篮，避免了砸篮现象的发生。 | ||
| 申请公布号 | CN203830375U | 申请公布日期 | 2014.09.17 |
| 申请号 | CN201420254600.6 | 申请日期 | 2014.05.19 |
| 申请人 | 英利能源（中国）有限公司 | 发明人 | 李双江;郭钊 |
| 分类号 | B08B11/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B08B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 魏晓波 |
| 主权项 | 一种硅片清洗机，包括下料台(1)，设置于所述下料台(1)的工作台面下的传送链条(3)，所述传送链条(3)用于传送硅片篮(4)，其特征在于，所述下料台(1)对应所述硅片篮(4)工作位置处设置有至少两个检测开关(2)，两检测开关(2)沿所述传送链条(3)的传动方向并行设置；所述硅片清洗机还包括根据各所述检测开关(2)中任一者检测到所述硅片篮(4)的信号，发出停止机械手放下一硅片篮(4)动作的控制器。 | ||
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||