具有化学控制的工作液的便携声波颗粒去除工具

摘要

本发明涉及具有化学控制的工作液的便携声波颗粒去除工具，具体涉及一种颗粒去除工具，其具有声场变换器、清洁室和开口密封面。清洁室具有从声场变换器延伸至开口密封面的清洁流体引导室，与清洁流体引导室流体连通的清洁流体输送通道以及清洁流体返回通道。开口密封面具有被设置为与由开口密封面形成的平面邻接的清洁口；以及与清洁表面平面形成液密密封的室到面接口密封件。声场变换器设置在清洁口的视线内，并产生具有介于约20kHz至约2MHz之间的频率的声波。

主权项

一种颗粒去除工具，其包括声场变换器、清洁室和开口密封面，其中：所述清洁室包括：清洁流体引导室，其从所述声场变换器延伸至所述开口密封面；清洁流体输送通道，其与所述清洁流体引导室流体连通；以及清洁流体返回通道，其比所述清洁流体输送通道具有较高流阻，并与所述清洁流体引导室流体连通，所述开口密封面包括清洁口，所述清洁口设置为与由所述开口密封面形成的平面邻接，所述声场变换器设置在所述清洁口的视线内，并产生具有介于约20kHz至约2MHz之间的频率的声波，并且所述开口密封面包括室到面接口密封件，当所述颗粒去除工具被按压至所述清洁表面平面时，所述室到面接口密封件与清洁表面平面形成液密密封。