| 发明名称 | 微机电谐振器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种微机电谐振器。实施例具体涉及能够施加最大可用芯片上电压的MEMS谐振器结构和方法。在实施例中，MEMS谐振器包括在接地电势与谐振器的间隙电极之间的连接。实施例也涉及复杂度较低并且能够生产减小尺寸的MEMS谐振器的制造系统和方法。 | ||
| 申请公布号 | CN104052430A | 申请公布日期 | 2014.09.17 |
| 申请号 | CN201410087868.X | 申请日期 | 2014.03.11 |
| 申请人 | 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司 | 发明人 | T·考茨施;H·弗雷利施;M·福格特;M·施特格曼;T·桑塔;M·布里安 |
| 分类号 | H03H9/24(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华 |
| 主权项 | 一种微机电系统（MEMS）谐振器，包括：第一驱动电极；谐振器结构，具有由第一间隙与所述第一驱动电极间隔开的第一端；以及接地电极，电耦合至所述谐振器的所述第一端。 | ||
| 地址 | 德累斯顿 | ||