一种存储器环保抗腐蚀抛光液

摘要

本发明公开了一种存储器环保抗腐蚀抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：双酚A型聚碳酸酯5-9份，纳米碳酸钙9-10份，二氯甲烷7-13份，苯甲醇5-10份，正戊烷1-9份，三氯甲烷1-3份，氯化钠2-8份，氯化钙3-7份，氯化铝1-2份，氯化钾1-2份，助溶剂1份，润湿剂1份，十二烷基苯磺酸钠1-2份。本发明的抛光液性能稳定，抛光效果好，可满足制备纳电子相变存储器中工艺的需要。

主权项

一种存储器环保抗腐蚀抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：双酚A型聚碳酸酯5‑9份，纳米碳酸钙9‑10份，二氯甲烷7‑13份，苯甲醇5‑10份，正戊烷1‑9份，三氯甲烷1‑3份，氯化钠2‑8份，氯化钙3‑7份，氯化铝1‑2份，氯化钾1‑2份，助溶剂1份，润湿剂1份，十二烷基苯磺酸钠1‑2份。