芯片清洗提升机构

摘要

芯片清洗提升机构。提供了一种结构简单，便于操作，提高芯片表面镀镍均匀性的芯片清洗提升机构。所述芯片放置在芯片舟内，所述芯片舟放置在石英缸内；所述提升机构包括提篮、一对安装座和气源，所述芯片舟设在所述提篮内；所述提篮包括本体和一对提板，所述一对提板水平设在所述本体两侧顶边的上沿，所述提板上设有一气孔一，所述提板的底面设有一对导柱，所述气孔一设在所述一对导柱的中间。本实用新型使芯片表面镀层更加均匀，提高了芯片的可靠性。

主权项

芯片清洗提升机构，所述芯片放置在芯片舟内，所述芯片舟放置在石英缸内；其特征在于，所述提升机构包括提篮、一对安装座和气源，所述芯片舟设在所述提篮内；所述提篮包括本体和一对提板，所述一对提板水平设在所述本体两侧顶边的上沿，所述提板上设有一气孔一，所述提板的底面设有一对导柱，所述气孔一设在所述一对导柱的中间；所述一对安装座分别固定连接在所述石英缸的顶面两对边的上沿，所述安装座上设有一对导孔和一气孔二，所述气孔二设在所述一对导孔的中间，所述气孔二为盲孔；所述气孔一和气孔二的中心线一致，所述气孔一位于气孔二的上方，所述气孔一的孔径小于气孔二的孔径，所述一对导柱分别活动连接在所述一对导孔内；    所述气源分别连通所述一对提板上的气孔一。