Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台

摘要

本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉、三柔性铰链圆形片工作台。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度纳米级精度的无耦合运动或定位，同时可承载一定弯矩、扭矩载荷；并可通过定心修切加工工艺，提高工作台上承载物与工作台外圆或内孔的同轴度。

主权项

Z‑θx‑θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，其特征在于包括：压电陶瓷驱动器螺钉(1)、压电陶瓷驱动器端盖(2)、压电陶瓷驱动器端盖螺钉(3)、压电陶瓷驱动器(4)、外筒(5)、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉(6)和具有三个柔性铰链的三柔性铰链圆形片工作台(7)；其中，三柔性铰链圆形片工作台(7)通过三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉(6)与外筒(5)连接；在三柔性铰链圆形片工作台(7)的一侧设有三支压电陶瓷驱动器(4)；压电陶瓷驱动器(4)为圆周均布，压电陶瓷驱动器(4)的工作端与三柔性铰链圆形片工作台(7)紧密接触；压电陶瓷驱动器(4)的固定端通过压电陶瓷驱动器螺钉(1)与压电陶瓷驱动器端盖(2)连接；当承载物(12需要与外筒(5)外圆面或内孔保持高同轴度时；先通过承载物连接螺钉(11)将承载物(12)与三柔性铰链圆形片工作台(7)连接形成承载组件；采用定心技术寻找到承载组件的中心轴，并以此为基准加工三柔性铰链圆形片工作台(7)的外圆及轴向配合面；此加工可提高承载物(12)与三柔性铰链圆形片工作台(7)的同轴度；实测三柔性铰链圆形片工作台(7)的外圆尺寸，并以此配制外筒(5)，即根据三柔性铰链圆形片工作台(7)的外圆尺寸修切外筒(5)的外圆面、内孔及轴向配合面，使之与三柔性铰链圆形片工作台(7)的外圆保持高同轴度；此加工可提高外筒(5)与三柔性铰链圆形片工作台(7)的同轴度；待外筒(5)配制完毕后，将承载组件装入外筒(5)，即可提高承载物(12)需要与外筒(5)外圆面或内孔保持高同轴度。