发明名称 |
偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 |
摘要 |
一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪,由雅敏平行平板、剪切平板、双面直角反射镜、偏振移相器、毛玻璃、成像镜组、图像传感器和计算机组成,本发明不仅保持了等光程干涉、剪切量可调的特点,还具有完全共光路、结构简单紧凑的优点。能有效地抑制外界环境的影响,提高了仪器的测量精度和稳定性。 |
申请公布号 |
CN102519357B |
申请公布日期 |
2014.09.17 |
申请号 |
CN201110427774.9 |
申请日期 |
2011.12.19 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜;闫爱民 |
分类号 |
G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01B9/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪,其特征在于由雅敏平行平板(1)、剪切平板(2)、双面直角反射镜(3)、偏振移相器(4)、毛玻璃(5)、成像镜组(6)、图像传感器(7)和计算机(8)组成,所述的雅敏平行平板(1)的入射工作面A的上半部分镀有偏振分束薄膜,所述的剪切平板(2)为光学平行平板,放置在所述的雅敏平行平板(1)和直角棱镜(3)之间的上半部分光路中,所述的剪切平板(2)具有绕平行于入射面且垂直于光束传输方向的转轴旋转的调节机构;所述的雅敏平行平板(1)、剪切平板(2)和双面直角反射镜(3)构成循环式剪切干涉光路,在所述的雅敏平行平板(1)的光束输出端依次是所述的偏振移相器(4)、毛玻璃(5)、变倍成像镜组(6)和图像传感器(7),该图像传感器(7)的输出端接计算机(8),所述的计算机(8)具有移相剪切干涉图像处理软件的计算机,可以对移相剪切干涉图像进行采集、处理和分析,进而复原出波面信息。 |
地址 |
201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱 |