发明名称 用于封装的铜表面处理
摘要 本发明涉及用于封装的铜表面处理。管芯具有顶面,及具有在管芯顶面上方突出的一部分的金属柱。金属柱的侧壁具有纳米线。管芯与封装衬底相接合。底部填充填充至管芯和封装衬底之间的间隔内。
申请公布号 CN104051378A 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201310311846.2 申请日期 2013.07.23
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 张志鸿;郭庭豪
分类号 H01L23/48(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L23/48(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种器件,包括:管芯,包括:顶面;以及金属柱,包括在所述管芯的所述顶面上方突出的一部分,其中,所述金属柱的侧壁包括纳米线。
地址 中国台湾新竹