发明名称 | 用于封装的铜表面处理 | ||
摘要 | 本发明涉及用于封装的铜表面处理。管芯具有顶面,及具有在管芯顶面上方突出的一部分的金属柱。金属柱的侧壁具有纳米线。管芯与封装衬底相接合。底部填充填充至管芯和封装衬底之间的间隔内。 | ||
申请公布号 | CN104051378A | 申请公布日期 | 2014.09.17 |
申请号 | CN201310311846.2 | 申请日期 | 2013.07.23 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 张志鸿;郭庭豪 |
分类号 | H01L23/48(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/48(2006.01)I |
代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
主权项 | 一种器件,包括:管芯,包括:顶面;以及金属柱,包括在所述管芯的所述顶面上方突出的一部分,其中,所述金属柱的侧壁包括纳米线。 | ||
地址 | 中国台湾新竹 |