发明名称 |
一种显示装置、阵列基板及其制作方法 |
摘要 |
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示装置、阵列基板及其制作方法。该阵列基板包括:基板,在基板上设有栅电极及栅线、栅绝缘层和有源层;所述有源层为金属氧化物;栅绝缘层和有源层同时形成。本发明提供一种显示装置、阵列基板及其制作方法,采用将半导体有源层与栅绝缘层共用一块掩模板制备,避免了光刻胶的残留,减少了工艺掩膜板数量,而且缩短了工艺时间,提高了生产效率。 |
申请公布号 |
CN104051472A |
申请公布日期 |
2014.09.17 |
申请号 |
CN201410276954.5 |
申请日期 |
2014.06.19 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
高涛;陈立强;周伟峰 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李迪 |
主权项 |
一种阵列基板,其特征在于,包括:基板,在基板上设有栅电极及栅线、栅绝缘层和有源层;所述有源层为金属氧化物;所述栅绝缘层和有源层同时形成。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |