一种辐射加热元件、辐射加热器及MOCVD反应器

摘要

本发明涉及金属有机物化学气相沉积设备领域，具体为一种辐射加热元件、辐射加热器及MOCVD反应器，加热元件由加热片以轴线对称方式绕制而成，加热片的截面为异型截面，辐射加热器采用了该异型截面的加热元件，而MOCVD反应器采用了该辐射加热器制成。本发明在使用辐射加热的条件下，通过改进加热元件的结构、形状，提升了加热元件所能承受的功率。通过与之配套的高温MOCVD反应器，解决了目前广泛使用的MOCVD反应器不能提供生长高质量AlN、AlGaN外延工艺所需要的高温条件的问题。

主权项

一种辐射加热元件，由加热片（17）以轴线对称方式绕制而成，其特征是，所述加热片（17）的截面为异型截面。