| 发明名称 | 自-组装结构、其制造方法和包含其的制品 | ||
| 摘要 | 本发明公开了包含接枝嵌段共聚物、光酸产生剂和交联剂的组合物，上述接枝嵌段共聚物包含含有主链聚合物和第一接枝聚合物的共聚物，第一接枝聚合物包含表面能降低的部分，第一接枝聚合物接枝在主链聚合物上，其中上述表面能降低的部分包含氟原子、硅原子、或氟原子和硅原子的组合。 | ||
| 申请公布号 | CN104049462A | 申请公布日期 | 2014.09.17 |
| 申请号 | CN201310757152.1 | 申请日期 | 2013.11.19 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司;得克萨斯A&M大学系统 | 发明人 | J·W·撒克里;P·特雷福纳斯三世;赵祥浩;G.孙;K·L·伍利 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/038(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 胡嘉倩 |
| 主权项 | 一种组合物，其包含：接枝嵌段共聚物；其包含：共聚物，其包含：主链聚合物；和包含表面能降低的部分的第一接枝聚合物；所述第一接枝聚合物接枝在主链聚合物上；其中所述表面能降低的部分包含氟原子、硅原子、或氟原子和硅原子的组合；光酸产生剂；和交联剂。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||