等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置，对被处理体实施等离子体处理，其包括：能够抽真空的圆筒状的处理容器；保持多个被处理体向处理容器内插拔的保持单元；向处理容器内供给气体的气体供给单元；和利用等离子体使气体活性化的活性化单元，其中，活性化单元由沿处理容器长边方向配设的等离子体生成箱、沿等离子体生成箱配设的电感耦合型电极和连接到电感耦合型电极的高频电源构成，电感耦合型电极在等离子体生成箱的一端折返，沿等离子体生成箱的两侧壁配设，等离子体生成箱由截面“コ”状的等离子体区分壁区分形成，该等离子体区分壁由相对的一对侧壁和连接该侧壁的一端侧的背面壁构成，串联连接成为一部分被切去的状态的多个环状电极而形成电极。

主权项

一种等离子体处理装置，对被处理体实施等离子体处理，其特征在于，包括：能够抽真空的圆筒状的处理容器；保持多个被处理体向所述处理容器内插拔的保持单元；向所述处理容器内供给气体的气体供给单元；和利用等离子体使所述气体活性化的活性化单元，其中，所述活性化单元由沿所述处理容器的长边方向配设的等离子体生成箱、沿所述等离子体生成箱配设的电感耦合型的电极、和连接到所述电感耦合型的电极的高频电源构成，所述电感耦合型的电极在所述等离子体生成箱的一端折返，沿所述等离子体生成箱的两侧壁配设，所述等离子体生成箱由截面“コ”状的等离子体区分壁区分形成，该等离子体区分壁由相对的一对侧壁和连接该侧壁的一端侧的背面壁构成，串联连接成为一部分被切去的状态的多个环状电极而形成所述电极。