一套综合MEMS和火工药剂滴注工艺的微型作动器加工方法

摘要

本发明公开了一套综合MEMS和火工药剂滴注工艺的微型作动器加工方法，包括实现桥型金属换能元的淀积工艺、实现推销活塞、微型作动器外框与基底及盖板的高深宽比MEMS工艺、实现的换能元与焊盘引脚互连的硅穿孔TSV(Through-Silicon Via)工艺，及火工药剂的滴注。实现的微型作动器包括火工药剂、MEMS工艺实现的桥型金属换能元、推销活塞、微型作动器外框与基底及盖板、药滴和焊盘引脚。其中，平板三层层叠结构中的桥型结构、微型作动器外框和推销活塞为金属材料，基底及盖板为半导体材料。与传统工艺实现的作动器相比，本工艺技术所加工出的微型作动器体积小、动作时间短、装配简便、密封性好。同时有利于大批量生产，降低成本，特别适合恶劣环境的使用。

主权项

一套综合MEMS和火工药剂滴注工艺的微型作动器加工方法，其特征在于，实现桥型金属换能元的淀积工艺，实现推销活塞、微型作动器外框与基底及盖板的高深宽比MEMS工艺，实现换能元与焊盘引脚互连的硅穿孔TSV(Through‑Silicon Via)工艺，及火工药剂的滴注。其工艺特征是本套微型作动器的综合加工技术贯彻尺寸小型一体化的原则，给使用系统留出更大的设计空间，发火能量散布小，并可对形状和尺寸进行优化，为小型火工品实现能量转换瞬发及冗余设计等多种用途创造了条件，减小起爆系统体积，降低成本，以实现在常规武器上的广泛应用，整体效果优于传统工艺。