发明名称 用于测验有机图案的方法
摘要 一种用于测验有机图案的方法包括:通过掩模在测验基板上形成有机图案;通过拍摄测验基板的预定测验区域获取测验图像;以及检查显示到测验图像的有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘。
申请公布号 CN104051624A 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201410035939.1 申请日期 2014.01.24
申请人 三星显示有限公司 发明人 金义圭;张大植
分类号 H01L51/00(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 主分类号 H01L51/00(2006.01)I
代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人 余朦;王艳春
主权项 一种用于测验有机图案的方法,包括:通过掩模在测验基板上形成有机图案;通过拍摄所述测验基板的预定测验区域获取测验图像,其中,所形成的有机图案被显示到所述测验图像;以及检查显示到所述测验图像的所述有机图案的边缘是否超出显示在所述测验图像中的虚拟测验图的边缘。
地址 韩国京畿道