吸附反转装置

摘要

本发明是有关于一种吸附反转装置。本发明的吸附反转装置C，是使吸附有脆性材料基板W的吸附板18绕旋转轴15旋转以使该脆性材料基板W表面背面反转，其中具有：侧框14，将旋转轴15支承成可旋转；中空构件50，以围绕旋转轴15的一部分的方式固定在侧框14，且在一端部具有圆形开口部50a；圆盘状突缘51，将该中空构件50的圆形开口部50a加以密封，且与旋转轴15成为一体地旋转；第1埠52，在突缘51开口，通过配管53与吸附板18连通；以及第2埠55，在中空构件50开口，通过配管56连通于空气吸引装置。本发明提供的技术方案可防止吸附板反转旋动时连接于吸附板的空气配管扭曲或纠缠在一起且维持旋转轴的强度。

主权项

一种吸附反转装置，是使吸附有脆性材料基板的吸附板绕旋转轴旋转以使该脆性材料基板表面背面反转，其特征在于，具有：侧框，将该旋转轴支承成能旋转；中空构件，以围绕该旋转轴的一部分的方式固定在该侧框，且在一端部具有圆形开口部；圆盘状突缘，将该中空构件的该圆形开口部加以密封，且与该旋转轴成为一体地旋转；第1埠，在该突缘开口，通过配管与该吸附板连通；以及第2埠，在该中空构件开口，通过配管连通于空气吸引装置。