管路温度控制装置

摘要

本发明提出了一种管路温度控制装置，在排气管路上添加加热单元，由温控单元控制加热单元给排气管路加热，使其保持在预定温度，测温单元检测排气管路的温度，并将检测结果反馈至温控单元，避免排气管路温度出现较大波动，通过对排气管路的加热，避免堆积在排气管路内的副产物吸附水汽，并将水汽带至硅片表面，形成气泡缺陷，从而提高硅片的合格率。此外，保护单元用于保护整个装置，当出现漏电、温控单元失控、测温单元脱落及电源断电等异常情况时，保护整个装置，停止加热或者使反应腔室停止进行下一轮反应，提高整个装置的运行可靠性。

主权项

一种管路温度控制装置，包括：加热单元、温控单元、测温单元及保护单元，其中，所述加热单元用于给排气管路进行加热，所述测温单元测量排气管路的温度并反馈至所述温控单元，所述温控单元控制所述加热单元进行加热或者停止加热，所述保护单元分别与所述测温单元、温控单元及加热单元相连，起保护作用。