一种物理研磨组合物

摘要

本发明公开了一种物理研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：烷基芳基碘酸钠11-13份，磷酸三钠9-14份，硫酸3-8份，烷基芳基磺酸钠9-15份，空心玻璃微珠2-3份，抗氧剂1-2份，亲水基表面活性剂9-15份，磷化液4-6份，纳米石墨粉1-2份，氨水7-13份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，氢氧化铝7-13份，山梨醇11-18份，甘油1-8份，氯化钙2-5份。本发明的化学机械研磨剂中包括亲水基表面洁性剂材料，可以降低化学机械研磨剂和正在水性薄膜间的表面张力，使化学机械研磨剂和琉水性薄膜更紧密贴合。

主权项

一种物理研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：烷基芳基碘酸钠11‑13份，磷酸三钠9‑14份，硫酸3‑8份，烷基芳基磺酸钠9‑15份，空心玻璃微珠2‑3份，抗氧剂1‑2份，亲水基表面活性剂9‑15份，磷化液4‑6份，纳米石墨粉1‑2份，氨水7‑13份，聚丙烯7‑10份，聚乙烯9‑16份，氢氧化铝7‑13份，山梨醇11‑18份，甘油1‑8份，氯化钙2‑5份。