发明名称 埋入式电阻
摘要 本发明公开一种埋入式电阻,其包含有一第一层间介电层、一盖层、一电阻层以及一盖膜。第一层间介电层位于一基底上。盖层位于第一层间介电层上,其中盖层具有一沟槽。电阻层顺应覆盖沟槽,因而具有一U型的剖面结构。盖膜位于沟槽中以及电阻层上;或者,一种埋入式电阻,包含有一第一层间介电层、一盖层以及一块状电阻层。第一层间介电层位于一基底上。盖层位于第一层间介电层上,其中盖层具有一沟槽。块状电阻层位于沟槽中。
申请公布号 CN104051614A 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201310082552.7 申请日期 2013.03.15
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 洪庆文;黄志森;曹博昭
分类号 H01L45/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯
主权项 一种埋入式电阻,包含有:第一层间介电层,位于一基底上;盖层,位于该第一层间介电层上,其中该盖层具有一沟槽;电阻层,顺应覆盖该沟槽,因而具有一U型的剖面结构;以及盖膜,位于该沟槽中以及该电阻层上。
地址 中国台湾新竹科学工业园区