发明名称 |
一种受潮石墨舟去潮工艺 |
摘要 |
一种受潮石墨舟去潮工艺,采用以下顺序工艺步骤: 步骤一,将受潮的石墨舟放至炉管内;步骤二,对炉管进行抽真空,炉内压强保持在100mTorr以内;步骤三,向炉内充氮气,使气压保持在500-800mbar;步骤四,对炉管进行升温至300-500℃;步骤五,对炉管再次抽真空,炉内压强保持在100mTorr以内;步骤六,执行去潮:控制炉管进气流量在5slm,压强控制在3000mTorr,持续进行30-60min;步骤七,将石墨舟取出炉管并室温下静置,本发明工艺简单,去潮过程中仅需氮气即可达到去潮目的,并且不会对石墨舟造成损伤,极大的提高了效率,并减少了企业成本,避免了常规处理过程中的拆舟装舟过程,避免了氢氟酸溶液的消耗,省去了镀舟过程,节省了硅烷氨气,节省时间并提高产能。 |
申请公布号 |
CN104051574A |
申请公布日期 |
2014.09.17 |
申请号 |
CN201410277851.0 |
申请日期 |
2014.06.20 |
申请人 |
润峰电力有限公司 |
发明人 |
李旺;孟鑫;钱金梁 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种受潮石墨舟去潮工艺,其特征在于采用以下顺序工艺步骤: 步骤一,将受潮的石墨舟放至炉管内;步骤二,对炉管进行抽真空,炉内压强保持在100mTorr以内;步骤三,向炉内充氮气,使气压保持在500‑800mbar;步骤四,对炉管进行升温至300‑500℃;步骤五,对炉管再次抽真空,炉内压强保持在100mTorr以内;步骤六,执行去潮:控制炉管进气流量在5slm,压强控制在3000mTorr,持续进行30‑60min;步骤七,将石墨舟取出炉管并室温下静置。 |
地址 |
272000 山东省济宁市微山县经济开发润峰工业园 |