发明名称 外延片扩散舟
摘要 外延片扩散舟。提供了一种结构简单,方便操作换向的外延片扩散舟。包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板,所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方,所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一,所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二;若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间,所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆,所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆;一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间;一对拉环包括拉环一和拉环二,拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。本实用新型节省了工作时间,提高了工作效率。
申请公布号 CN203839358U 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201420269689.3 申请日期 2014.05.23
申请人 扬州杰利半导体有限公司 发明人 游佩武;张进成;裘立强;王毅
分类号 H01L21/673(2006.01)I;C30B31/14(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 周全
主权项 外延片扩散舟,其特征在于,包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板,所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方,所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一,所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二;若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间,所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆,所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆;   所述一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间;   所述一对拉环包括拉环一和拉环二,所述拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。
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