发明名称 |
外延片扩散舟 |
摘要 |
外延片扩散舟。提供了一种结构简单,方便操作换向的外延片扩散舟。包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板,所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方,所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一,所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二;若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间,所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆,所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆;一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间;一对拉环包括拉环一和拉环二,拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。本实用新型节省了工作时间,提高了工作效率。 |
申请公布号 |
CN203839358U |
申请公布日期 |
2014.09.17 |
申请号 |
CN201420269689.3 |
申请日期 |
2014.05.23 |
申请人 |
扬州杰利半导体有限公司 |
发明人 |
游佩武;张进成;裘立强;王毅 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;C30B31/14(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
周全 |
主权项 |
外延片扩散舟,其特征在于,包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板,所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方,所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一,所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二;若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间,所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆,所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆; 所述一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间; 所述一对拉环包括拉环一和拉环二,所述拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。 |
地址 |
225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 |