硅片载片盒固定托盘

摘要

本实用新型公开了一种硅片载片盒固定托盘，涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备技术领域。包括托盘本体，以及设置在托盘本体上表面的定位柱，所述托盘本体的上表面还设有与载片盒的大小相适配的凹槽，所述定位柱设有一根，定位柱的位置与载片盒上的任意一个固定通孔相对应，且与固定通孔的形状相适配。所述固定托盘通过其上表面的凹槽和一根定位柱对载片盒进行定位和固定，不仅定位准确可防止载片盒放反的问题，还提高了工作效率，且由于定位柱只使用一根，降低了定位柱损坏的几率，维护成本低。

主权项

一种硅片载片盒固定托盘，包括托盘本体（5），以及设置在托盘本体（5）上表面的定位柱（7），其特征在于：所述托盘本体（5）的上表面还设有与载片盒（1）的大小相适配的凹槽（6），所述定位柱（7）设有一根，定位柱（7）的位置与载片盒（1）上的任意一个固定通孔（3）相对应，且与固定通孔（3）的形状相适配。