| 发明名称 | 一种半导体研磨剂 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：硫氰酸盐21-23份，二氧化硅1-3份，过氧化氢2-8份，硫酸锌6-8份，硫酸镁11-16份，硫酸银4-9份，硫酸铜3-8份，异丙醇8-13份，苯甲酸5-7份，乙醇9-16份，三氟乙酸3-8份，聚丙烯酯5-9份。本发明的有益效果是：腐蚀速度低，研磨效果好，对半导体损伤小。 | ||
| 申请公布号 | CN104046325A | 申请公布日期 | 2014.09.17 |
| 申请号 | CN201410292071.3 | 申请日期 | 2014.06.26 |
| 申请人 | 青岛宝泰新能源科技有限公司 | 发明人 | 范向奎 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种半导体研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：硫氰酸盐21‑23份，二氧化硅1‑3份，过氧化氢2‑8份，硫酸锌6‑8份，硫酸镁11‑16份，硫酸银4‑9份，硫酸铜3‑8份，异丙醇8‑13份，苯甲酸5‑7份，乙醇9‑16份，三氟乙酸3‑8份，聚丙烯酯5‑9份。 | ||
| 地址 | 266000 山东省青岛市李沧区郑佛路17号-8室 | ||