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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNING PROBE CARD AND WAFER
摘要
申请公布号
KR101442397(B1)
申请公布日期
2014.09.17
申请号
KR20130020964
申请日期
2013.02.27
申请人
发明人
分类号
G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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