Table assembly for supporting semiconductor devices,申请号KR20130020962-传众专利搜索

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发明名称	Table assembly for supporting semiconductor devices
摘要
申请公布号	KR101442396(B1)	申请公布日期	2014.09.17
申请号	KR20130020962	申请日期	2013.02.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/66;H01L21/683	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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