发明名称 类钻石薄膜及其制备方法;DIAMOND LIKE FILM AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要 本发明提供一种类钻石薄膜,可用于提升一场发射元件的效能。其中,上述类钻石薄膜成形于一基材上且系混合石墨纤维与钻石粉末为其成核层。另外,上述类钻石薄膜的制备方法亦揭露于本发明中,其至少包含下列步骤:首先,提供上述基材以及一包含有石墨纤维与钻石粉末之混合溶液。接着,利用混合溶液于基材上形成一成核层,再利用此成核层形成一类钻石薄膜于基材上。
申请公布号 TW201435127 申请公布日期 2014.09.16
申请号 TW102108297 申请日期 2013.03.08
申请人 国立清华大学 发明人 李紫原;林谕男;陈建甫
分类号 C23C16/30(2006.01) 主分类号 C23C16/30(2006.01)
代理机构 代理人 <name>王正利</name>
主权项
地址 NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY 新竹市光复路2段101号