发明名称 电阻式记忆体装置与其制造方法;RESISTIVE RAM AND FABRICATION METHOD
摘要 一种电阻式记忆体装置结构与其制造方法,制造方法包括以下步骤。提供一底电极,底电极包括一金属。形成一记忆层于底电极上。记忆层包括一第一层与一第二层,第一层包括金属氧化物,第二层包括含氮的金属氧化物。形成一顶电极于记忆层上。
申请公布号 TW201436317 申请公布日期 2014.09.16
申请号 TW102130563 申请日期 2013.08.27
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 陈怡月;简维志
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L21/8239(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 代理人 <name>祁明辉</name><name>林素华</name>
主权项
地址 MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD. 新竹县科学工业园区力行路16号
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