极低温冷冻装置、及极低温冷冻装置的控制方法

摘要

本发明提供一种极低温冷冻装置、及极低温冷冻装置的控制方法，其系在能够进行复数种运转之极低温冷冻装置中对复数个冷冻机的冷冻能力分别进行调整。本发明的极低温冷冻装置(10)具备：压缩机(12)；复数个冷冻机(14)；及气体管路(16)，其将复数个冷冻机(14)并联连接于压缩机(12)，以使作动气体在复数个冷冻机(14)中的每一个与压缩机(12)之间循环。气体管路(16)具备流量控制阀(54)，该流量控制阀能够对复数个冷冻机(14)中相对应之冷冻机(14)的作动气体流动的压力损失分别进行控制。流量控制阀(54)串联设置于所对应之冷冻机(14)上。