喷嘴清洁装置、涂布装置、喷嘴清洁方法、以及涂布方法;NOZZLE CLEANING APPARATUS, DISPENSING APPARATUS, METHOD FOR NOZZLE CLEANING, AND METHOD FOR DISPENSING

摘要

本发明的目的在于提供一种喷嘴清洁装置、涂布装置、喷嘴清洁方法以及涂布方法，在清洁与狭缝喷嘴的擦拭相关的构件时，雾气等不会附着在会影响被处理体的涂布性能的部分。形成着密闭空间，通过擦拭来去除狭缝喷嘴的附着物的擦拭构件的清洁是在所述密闭空间内进行的。此外，在密闭空间内设置着将密闭空间内部的气液排出至装置外部的排出口。因此，用于清洁擦拭构件的双流体清洁液或因该清洁而产生的雾气从所述排出口被排出至装置外部，而不会附着在装置内部中的密闭空间的外部。