研磨垫之表面性状测定方法

摘要

【课题】本发明提供一种研磨垫之表面性状测定方法，系可测定研磨垫之表面性状，判断研磨垫之表面性状是否形成获得要求之研磨性能的状态。【解决手段】研磨垫2之表面性状测定方法，系滑接于基板而研磨基板之被研磨面，且在研磨垫2上照射雷射光，以受光元件接收从研磨垫2反射而散射之散射光，藉由光学性傅里叶变换获得相当于依据研磨垫2之表面形状的空间波长光谱之强度分布，依据相当于相异之2个指定空间波长范围的强度分布，运算呈现研磨垫2之表面性状的数值。