| 摘要 |
兹提供用于电浆处理的方法与装置之实施例。在一些实施例中,一种电感式耦合电浆装置,包括:一底墙,该底墙包含一轮毂与一环件,该环件藉由一电容耦合于该轮毂,其中该轮毂与该环件之每一者呈导电,且其中该轮毂具有一中心开口,该中心开口准直于该电感式耦合电浆装置之一中心轴;一顶墙;该顶墙与该底墙相间隔且位于该底墙上方,其中该顶墙具有一中心开口,该中心开口准直于该中心轴,且其中该顶墙呈导电;一侧墙,该侧墙将该环件电性连接于该顶墙;以及一管件,该管件将该轮毂电性连接于该顶墙,该管件具有一中心开口,该中心开口准直于该中心轴。 |
