| 发明名称 |
透过递送分裂雷射脉冲之改良钝化层之移除;IMPROVED PASSIVATION LAYER REMOVAL BY DELIVERING A SPLIT LASER PULSE |
| 摘要 |
本发明之实施例大体而言提供在钝化层中形成特征或孔而不损伤下方的太阳能电池基板的方法。使源雷射光束分成第一雷射光束和第二雷射光束。将该第一雷射光束修改成具有与该源雷射光束不同的波长。使该第二雷射光束延迟预定的时间,并将该第一和第二雷射光束递送到基板的表面。 |
| 申请公布号 |
TW201436274 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
| 申请号 |
TW103103622 |
申请日期 |
2014.01.29 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
法兰克林杰佛瑞Ｌ;郑毅 |
| 分类号 |
H01L31/18(2006.01);B23K26/352(2014.01);H01L21/268(2006.01);H01L31/0224(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
APPLIED MATERIALS, INC. 美国 |
