发明名称 |
具有后钝化互连结构之半导体元件及形成具有后钝化互连结构之半导体元件之方法;SEMICONDUCTOR DEVICE WITH POST-PASSIVATION INTERCONNECT STRUCTURE AND METHOD OF FORMING THE SAME |
摘要 |
本发明提供一种半导体元件,包括:保护层,上覆于半导体基板上之接触垫及虚设垫;互连结构,上覆于保护层且经由通过保护层之接触穿孔接触部分的虚设垫;凸块,上覆于设置在虚设垫上方的互连结构。 |
申请公布号 |
TW201436134 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
申请号 |
TW102136061 |
申请日期 |
2013.10.04 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
陈宪伟;于宗源;蔡豪益;李明机;余振华 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
主权项 |
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地址 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |