矽基板的再结合寿命测定方法;MEASURING METHOD OF RE-COUPLING LIFE TIME OF SILICON SUBSTRATE

摘要

本发明是在于提供一种可高精度评价矽基板制造制程或装置制造制程的金属污染或结晶缺陷之矽基板的再结合寿命测定方法。本发明是在对矽基板的表面进行化学钝化处理之后,测定再结合寿命的方法,从前述化学钝化处理到前述再结合寿命的测定完了的期间,至少进行自紫外线防护前述矽基板的紫外线防护处理。