基板处理装置、基板装置之运用方法及记忆媒体;SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, METHOD FOR THE APPLICATION OF THE SUBSTRATE, AND STORAGE MEDIUM

摘要

本发明系一种基板处理装置,基板装置之运用方法及记忆媒体,其课题为提供对于收纳基板而为了搬入至基板处理装置之搬送容器,检测异常,可避免因此异常引起之损坏的技术者。其解决手段为呈具备搬入搬送容器之装载埠,和搬入至前述装载埠,检测卸下盖体之搬送容器内之基板的收纳状况之检测部,和为了处理自搬入至前述装载埠之搬送容器所取出之基板的处理部,和控制部地构成基板处理装置。前述控制部系执行自搬入至装载埠之搬送容器,将基板送出至处理部之前,检测搬送容器内之基板的收纳状况之第1步骤,和将在前述处理部所处理之基板返回至原本的搬送容器之后,封闭盖体之前,检测该搬送容器内之基板的收纳状况之第2步骤,和依据前述第1步骤与第2步骤而判断搬送容器是否异常之第3步骤。