蚀刻用于电路及薄膜热结构的碳奈米管片材之方法;METHODS OF ETCHING CARBON NANOTUBE SHEET MATERIAL FOR ELECTRICAL CIRCUIT AND THIN FILM THERMAL STRUCTURE APPLICATIONS

摘要

一种用于蚀刻电路及薄膜热结构的碳奈米管(CNT)片材之方法。方法包含:在导电的碳奈米管材料片上形成遮罩;以及,电化学地移除碳奈米管材料的未被遮罩部份。