| 发明名称 |
碳化矽－碳化钽复合材及载置台;CARBIDE SILICON-CARBIDE TANTALUM COMPOUND AND CARRIER |
| 摘要 |
本发明系提供一种耐久性优异之碳化矽-碳化钽复合材。本发明之碳化矽-碳化钽复合材(1)，系具备：表层的至少一部分由第1碳化矽层(12)所构成之本体(10)、碳化钽层(20)、以及第2碳化矽层(13)。碳化钽层(20)配置在第1碳化矽层(12)的上方。第2碳化矽层(13)配置在碳化钽层(20)与第1碳化矽层(12)之间。第2碳化矽层(13)系由X射线光电子光谱分析法所测定之C/Si组成比为1.2以上。第2碳化矽层(13)系由拉曼光谱分析法所测定之碳的G能带及D能带之峰值强度比G/D为1.0以上。 |
| 申请公布号 |
TW201435159 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
| 申请号 |
TW103103723 |
申请日期 |
2014.02.05 |
| 申请人 |
东洋炭素股份有限公司 |
发明人 |
筱原正人 |
| 分类号 |
C30B25/12(2006.01);C30B29/36(2006.01);C23C16/458(2006.01) |
主分类号 |
C30B25/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
TOYO TANSO CO., LTD. 日本 |
