| 摘要 |
[课题]本发明提供可高速进行测量、且可减小装置尺寸的一种用于对测量对象物的位移作多点测量的共焦点测量装置。[解决手段]本发明为利用共焦点光学系统对测量对象物200的位移进行多点测量的共焦点测量装置100。共焦点测量装置100具备：光源21、头部10、分光器23、及摄像元件24。共焦点测量装置100系将以复数个头部10产生轴上色差的光照射到测量对象物200，同时，使要在测量对象物200上对焦的光通过，用分叉光纤及光纤11使通过复数个头部10的光入射于1个分光器23。而且，共焦点测量装置100系使经分光后的光用朝着分光部所形成的分光方向作1维排列的摄像元件24接收，并以控制电路部25从摄像元件24接收的光求得和复数个每个头部10对应的尖峰波长。 |
