真空截止阀;VACUUM ISOLATION VALVE

摘要

本发明有关于真空截止阀。根据本发明的实施例的真空截止阀，该真空截止阀包括：外罩部，设置于腔和腔中吹扫气体供给部之间，形成用于连接腔和腔中吹扫气体供给部使其相连通的管道；管道阻隔部，形成于管道的预定位置，用于选择性地阻隔管道；第一阻隔部，设置于外罩部，移动到第一方向并选择性地阻隔管道阻隔部的开放的第一面，确保腔和腔中吹扫气体供给部保持相连通的状态；第二阻隔部，设置于外罩部，在第一阻隔部移动到第一方向的情况下，移动到第二方向并施压于第一阻隔部，确保腔和腔中吹扫气体供给部保持相连通的状态，而在第一阻隔部移动到第一方向的相反方向的情况下，移动到第二方向并通过第一面来插入到管道阻隔部，紧贴于第一面的对置面并阻隔管道，藉以阻隔腔和腔中吹扫气体供给部的连通。