基板传送托盘及成膜装置

摘要

本发明提供一种基板传送托盘及成膜装置，其能够使用于基板传送之结构简化，并且能够提高成膜效率。该基板传送托盘(20)具备设置于框体(21)的上端侧之支撑部(22)，该支撑部(22)具有与赋予用于传送之驱动力之驱动辊(63)接触之导轨部(31)。并且，即使在驱动辊(63)或与该驱动辊(63)接触之部份产生由膜剥落等产生之粒子，向厚度方向延伸之下壁部(32)亦能够接收该粒子。如此一来，虽然只是使支撑部(22)的导轨部(31)与驱动辊(63)接触之简化结构，但亦能够进行基板(101)的传送且能够抑制粒子的飞散。