贴合式化学机械研磨修整器及其制法;STICK-TYPE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING CONDITIONER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

本发明系有关于一种贴合式化学机械研磨修整器及其制法，包括：一底部基板，其具有一中心突出部；一研磨单元结合层，系设置于该底部基板之外圈表面上；以及复数个研磨单元，系设置于该研磨单元结合层上；其中，该些研磨单元系具有一扇形外型，并沿着该底部基板之该中心突出部而排列形成一不连续之环状外型。藉此，本发明可利用底部基板之中心突出部调整该些研磨单元之排列，并有效改善化学机械研磨修整器表面在加热硬化过程中所造成之热变形问题，进而提升化学机械研磨修整器之表面平坦度。