电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

[课题]提供一种不需使用整流壁或自由基消耗量较多的牺牲材,就可减低被处理基板之周边部的反应性并进行均匀之电浆处理的电浆处理装置。[解决手段]具备:处理容器(2),用于收容基板(G)并施予电浆处理;基板载置台(4),在处理容器(2)内载置基板(G);处理气体供给机构(20,28),对处理容器内供给处理气体;排气机构(30),对处理容器(2)内进行排气;高频电源(14a),作为在处理容器(2)内生成处理气体之电浆的电浆源;及捕集气体供给机构(16,19),对基板载置台(4)上之基板(G)的周边部供给捕集电浆中之活性种的捕集气体。