处理相容分段目标及设计方法;PROCESS COMPATIBLE SEGMENTED TARGETS AND DESIGN METHODS

摘要

本发明提供设计计量目标之方法,该方法包括藉由分段目标元件之背景区域及视情况分段该等目标元件来区分该等目标元件与该背景区域。当量测时,该等所提供计量目标可维持一所需特征大小而且被精确分段以达成处理及设计规则相容性,此导致该等计量量测之更高准确度。特定言之,目标特征与相邻背景特征之间之所有转变可经设计以维持低于一特定临限値之该等特征之一特征大小。