用以改善半导体检测之产率或维护性质的检测系统;TEST SYSTEM FOR IMPROVING THROUGHPUT OR MAINTENANCE PROPERTIES OF SEMICONDUCTOR TESTING

摘要

一种半导体检测系统，其包含：检测头针脚；每一针脚资源，其基于一种一对一方式而可连接至该等检测头针脚；共用资源，其之各者是可连接至该等检测头针脚之一者；一检测器控制器，其用以控制该等每一针脚资源以及该等共用资源；以及一列表形式检测方案，其包含：一第一行，其用以指定使用该等每一针脚资源以及该等共用资源之至少一者的一量测函数；以及至少一第二行，其用以指定该量测函数之输入以及输出参数，该列表形式检测方案进一步包含程式列，该列表形式检测方案利用该检测器控制器被执行，该列表形式检测方案进一步包含一第三行，其用以指定利用非同步平行执行被执行的列是如何被群集。