荷电粒子束描绘装置及荷电粒子束描绘方法

摘要

本发明之一形态的荷电粒子束描绘装置,其特征系具备:地图作成部,其系按包含具有复数的图形图案的晶片的领域被假想分割成网目状的复数的网目领域的每个网目领域来作成定义有关该晶片的参数之地图;更换部,其系以晶片的晶片中心或上述领域的领域中心为轴来进行该晶片的晶片资料的反转及旋转的至少1个的资料处理时,使按地图的每个网目领域所被定义的参数彼此对应于资料处理后的图形图案的位置而更换;及描绘部,其系利用荷电粒子束来将被进行反转及旋转的至少1个的资料处理的晶片内的图形图案描绘于试料。