包含相分离构造之构造物之制造方法及包含相分离构造之构造物;METHOD OF FORMING STRUCTURAL BODY HAVING PHASE SEPARATION STRUCTURE AND STRUCTURAL BODY HAVING PHASE SEPARATION STRUCTURE

摘要

本发明为一种包含相分离构造之构造物之制造方法,其特征为具有:于基板上形成包含表面处理剂之中性化膜之步骤;于前述中性化膜之上形成感光性树脂膜,并进行曝光、显像而形成图型之步骤;于前述图型上,以被覆前述图型及中性化膜般地形成包含复数种类之聚合物经结合之嵌段共聚物之层之步骤;使该图型及中性化膜上之包含该嵌段共聚物之层予以相分离之步骤。