彩色滤光片的制造方法;METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER

摘要

本发明的目的在于提供一种彩色滤光片的制造方法，抗蚀剂图案的去除步骤中的彩色滤光片的剥落得到抑制。本发明的彩色滤光片的制造方法包括：硬化膜形成步骤，于支撑体上形成含有一次粒径为1 nm~100 nm的金属氧化物粒子的硬化膜；着色层形成步骤，于硬化膜上形成着色层；光阻层形成步骤，于着色层上形成光阻层；图案形成步骤，将光阻层以图案状去除，藉此于着色层上形成抗蚀剂图案；蚀刻步骤，将抗蚀剂图案作为蚀刻遮罩，藉由使用蚀刻气体的乾式蚀刻法对着色层进行蚀刻；以及抗蚀剂图案去除步骤，将蚀刻步骤后残存的抗蚀剂图案去除。