多晶矽矽锭的制造装置及其制造方法;MANUFACTURING DEVICE FOR POLYCRYSTALLINE SILICON INGOT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

摘要

本发明提供一种多晶矽矽锭制造装置，包括：坩埚，可收纳矽原料；加热器，配置于该坩埚的周围；导热体，配置于该坩埚的下方；以及冷却单元，对该导热体进行冷却；所述多晶矽矽锭制造装置的特征在于：上述导热体形成下方开口的有底的筒状体，上述导热体的底部外表面与上述坩埚的底部外表面相对向而配置，藉由上述冷却单元来使上述导热体的开口端部附近被冷却。