| 发明名称 | 形成鳍状结构的方法;METHOD FOR FORMING FIN-SHAPED STRUCTURE | ||
| 摘要 | 本发明提出一种鳍状结构的制作方法,包含有以下步骤:首先,形成一多层结构于一基底上,接着形成一牺牲图案于该多层结构上,再形成一间隙壁于该牺牲图案的侧边,且位于该多层结构上,而后移除该牺牲图案,以各该间隙壁作为一遮罩蚀刻部分该多层结构,再以该多层结构作为一遮罩蚀刻部分该基底,以于该基底中形成至少一鳍状结构。 | ||
| 申请公布号 | TW201436048 | 申请公布日期 | 2014.09.16 |
| 申请号 | TW102107886 | 申请日期 | 2013.03.06 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 蔡世鸿;林俊贤;林建廷 |
| 分类号 | H01L21/336(2006.01);H01L21/28(2006.01) | 主分类号 | H01L21/336(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | <name>吴丰任</name><name>戴俊彦</name> | |
| 主权项 | |||
| 地址 | UNITED MICROELECTRONICS CORP. 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 | ||