具有对流压缩机之热处理室;THERMAL DIFFUSION CHAMBER WITH CONVECTION COMPRESSOR

摘要

揭示一种具有对流压缩机之热处理室,其包含:一框架,支撑一容置室,该容置室具有一局限于容置室内的密封制程腔室;至少一与密封制程腔室的外部流体连通之流体入口结构,流体入口结构包含至少一流量调整结构以控制来自密封制程腔室的外部周围之流体源的流体流量;以及一与密封制程腔室的内部流体连通之开路流体对流系统,其中该流体对流系统包含一旋转式压缩机组合,该组合延伸入密封制程腔室。